특성 및 적용범위

1) 특성

• 0.12 ~ 0.17 μm에서 99.9995% 이상 포집효율의 초고성능 Filter

2) 적용범위

• Clean Room Class 10이하에 적용
• Gel, Tight Seal, FFU System에 적용가능
• Semiconductor Fabrication
• Semiconductor Equipment
  
• Pharmaceutial (Clean Booth / Clean Bench)
• Hospitals (Clean booth / Clean Bench)
• LCD Fabaication

3) 재질 및 사용조건

구분	AA	AK	BA	BK	SA	SK
			WA	WK	GA	GK
MEDIA	GLASS FIBER
FRAME	ALUMINIUM		P/BOARD or P/WOOD		SUS or G/STEEL
SEPARATOR	AL	KRAFT	AL	KRAFT	AL	KRAFT
SEALANT	POLY URETHANE
GASKET	NEOPRENE RUBBER
최고사용온도(℃)	120	80	120	80	120	80
최고사용습도(RH)	100	85	100	85	100	85

4) 표준사양